Gdy obszar podglądu musi być większy niż zakres powiększenia, można wybrać funkcje skanowania i łączenia (stitching) w celu utworzenia pełnego podglądu lub szczegółowych obrazów większych obszarów próbki pomiarowej. Te (szczegółowe) obrazy mogą być następnie wykorzystane do raportowania lub definiowania lokalizacji szablonów pomiarowych.
