Sollte einmal ein größer Bildausschnitt notwendig sein, der sich nicht mit der Übersichtskamera realisieren lässt, kann mit der Funktion „Scan & Stitch“ (Scannen und Zusammenfügen) eine Übersicht des gesamten Probentisches erstellt werden. Es lassen sich auch Detailansichten größerer Bereiche der Probe erstellen. Diese (Detail-) Abbildungen können dann für Berichte oder für die Festlegung von Prüfmusterpositionen verwendet werden.
